Gerkens, Dr. Jan

في العقود الماضية ، كان تصغير المواد أمرًا جوهريًا في جميع مجالات التكنولوجيا ، وخاصة في صناعة أشباه الموصلات. في الوقت الحاضر ، وصل تصغير المركبات شبه الموصلة إلى مستوى وصلت فيه عمليات التصنيع المعمول بها إلى حدودها التقنية. يوفر ترسيب الطبقة الذرية (ALD) طريقة بديلة لترسيب الأغشية المعدنية الرقيقة للغاية ، وهي خطوة حاسمة في تصنيع مركبات أشباه الموصلات. استنادًا إلى تفاعل كيميائي بين المرحلة السطحية والغازية ، فإن ALD هي عملية تمس كلاً من الكيمياء الاصطناعية وعلوم المواد....